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超聲波掃描顯微鏡SAT
X射線X-ray
I/V自動(dòng)曲線追蹤儀Auto Curve Tracer
酸開(kāi)封機(jī)Decap
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微光顯微鏡EMMI（P-100）
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經(jīng)濟(jì)型6寸探針臺(tái)MPW-600
4寸探針臺(tái)PW-400
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掃描電鏡SEM
聚焦離子束FIB
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高速精密切割機(jī) Allied TechCut 5™
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真空鑲嵌機(jī) Allied Tech Press 3™
離子刻蝕機(jī)RIE-10NR
離子刻蝕機(jī)RIE-1C
O/S測(cè)試機(jī)
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